PK66X
高纯压力传感器
产品描述
PK66X系列高纯压力变送器专门设计用于半导体、高纯/超纯环境、特殊气体管道等应用。压力范围覆盖-14.7~6000Psi，且量程可以任选；产品生产100%泄露测试，避免易燃易爆、腐蚀或有毒介质溢出风险；全程在百级洁净室生产并真空包装，同时100%清洗，满足SEMI标准需求。
技术规格
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应用场合表压、绝压、负压测量
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测量量程-14.7...0.....6000psi
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最大测量偏差(@25℃)±0.25%FS(<160psi; ±0.5%FS)
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过载压力额定压力x3倍
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介质温度-40.....125°C
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环境温度-20....85°C
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平均温度系数(-20~85℃）零点:<0.1%FS/10K; 量程:<0.1%FS/10K
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供电电压DC24V(10...30V DC)
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输出信号4...20mA、0...5V、0..10V
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过程连接9/16-18UNF(1/4"VCR)/W-seal/C-seal
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连接材质SUS316L VIM/VAR
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膜片材质SUS316LVIM/VAR/镍基合金/哈氏合金
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稳定性能典型值:0.25%FS/Year
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重复性≤0.1%
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零点可调量程的-10...+10%
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内表面粗糙度Ra:<0.15um以下
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泄露率≤1X10-10Pa.m³/s
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包装真空双层包装，符合SEMIE49.6
配置
产品配置器