PK86X-PSATS
侧边出线高纯开关量压力变送器
产品描述
PK86X-PS系列三合一高纯压力计专门设计用于满足半导体、液晶面板LED、高纯/超纯环境、特殊气体管道等应用。压力范围覆盖0~100Psi，且量程可以任选；产品生产100%泄露测试，避免易燃易爆、腐蚀或有毒介质溢出风险；全程在百级洁净室生产并真空包装，同时100%清洗，满足SEMI标准需求。
技术规格
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应用场合半导体生产气体用
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测量量程0...100psiA
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精度+0.75%FS
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过载压力额定压力x3倍
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介质温度-40....125°C
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环境温度-20....85°C
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平均温度系数零点:<0.1%FS/10K; 量程:<0.1%FS/10K
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供电电压DC24V(10...30V DC)
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输出信号0-5V
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开关点NPN 数量2
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显示LED显示，表盘可270℃旋转
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出线侧边出线 D-SUB 15PIN(Male)
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连接材质316L VIM/VAR
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膜片材质哈氏合金(C-22)
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稳定性能典型值:0.25%FS/Year
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泄露率≤1X10-10Pa.m³/s
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包装真空双层包装，符合SEMIE49.6
配置
产品配置器